台积电、英特尔、三星集体押注玻璃基板，TGV（Through Glass Via，玻璃通孔）成为先进封装关键工艺，激光加工设备站上风口。2026年，TGV商业化大幕正式拉开，国产激光设备企业正加速卡位。

什么是TGV，为什么是现在

传统先进封装基板主要采用有机材料（如ABF载板）和硅基板，但两者均已触及性能天花板。有机基板受限于较高的介电常数和损耗因子，信号传输速率和完整性难以满足AI芯片日益严苛的需求；硅基板虽性能优异，但成本高昂、加工周期长，难以支撑大规模量产。

玻璃基板的优势在此背景下凸显：低介电常数（约4.6-6.8，低于有机基板的~5.5和硅的11.8）意味着更低的信号延迟和损耗；极低的热膨胀系数（与硅芯片高度匹配）消除了热应力导致的翘曲和可靠性问题；超高平整度支持更细的布线间距和更密的互连；优异的化学稳定性和气密性保障了长期可靠性。这些特性使玻璃基板成为AI算力爆发时代封装材料升级的必选项。

2026年被业界广泛视为TGV商业化元年。台积电计划2026年下半年启动玻璃基板量产，英特尔和三星也相继公布玻璃基板路线图，下游需求端已发出明确信号。

TGV工艺难点与激光角色

TGV工艺链路长、技术壁垒高，核心瓶颈集中在三大环节：微孔成型、无空洞填铜（RDL前段）和多层布线。其中，微孔成型是整个工艺链的起点，也是决定后续良率的基石。

在微孔成型环节，激光是唯一能实现微米级高精度微孔的手段。传统机械钻孔精度通常在100μm以上，远无法满足TGV工艺5-50μm的孔径需求；超声波钻孔效率低且孔壁质量差；等离子刻蚀虽精度高但成本极高、效率极低。唯有激光加工能在精度、效率与成本之间取得平衡。

当前主流路线为LIDE（激光诱导深层刻蚀）：先利用超快激光（皮秒或飞秒）对玻璃进行局部改性，形成高选择性刻蚀通道，再通过湿法刻蚀将改性区域去除，形成高质量通孔。这种”激光改性+湿法刻蚀”的两步法兼顾了加工精度和孔壁质量。

在超快激光的选择上，飞秒激光相比皮秒激光具有明显优势：飞秒脉冲持续时间更短（10^-15秒级），峰值功率更高，材料去除几乎完全依赖非线性吸收，热影响区极小，玻璃微裂纹和热应力损伤显著低于皮秒激光，通孔孔壁更光滑、锥度更可控，这对后续填铜工艺至关重要。

国产设备玩家梳理

TGV激光加工设备赛道上，多家国产企业已形成差异化布局，从激光器、装备整机到工艺方案各有侧重。

帝尔激光：光伏激光设备绝对龙头，凭借光伏领域积累的精密激光加工能力，率先切入TGV赛道。公司TGV激光微孔设备已批量交付沃格光电、京东方等行业头部客户，产品覆盖晶圆级和面板级两大规格，是目前国产TGV激光设备中商业化推进最快的玩家之一。

德龙激光：精密微细加工领域龙头，深耕半导体激光加工多年。公司在半导体TGV钻孔领域处于行业领先地位，已向头部封测厂完成设备验证，产品以高精度、高稳定性著称，在客户验证环节进度靠前。

华工科技：公司TGV玻璃通孔激光加工智能装备已完成整机定型，核心部件实现100%国产化，这是国产替代的重要里程碑。关键指标方面，设备支持5μm微孔加工，加工速度达8000孔/秒，已完成中试验证。华工科技的差异化优势在于整机集成能力和全链路国产化，在供应链安全维度上具备战略意义。

海目星：走激光+蚀刻一体化路线，提供从激光改孔到湿法刻蚀的闭环方案。公司覆盖纳秒、皮秒、飞秒全波段激光源，产品灵活性高。海目星提出0ppm不良率目标，体现了对良率极致追求的工艺理念，在高端客户验证中具有说服力。

大族激光：作为全球激光装备龙头，大族激光产品线覆盖TGV工艺链多个环节。公司的核心优势在于庞大的客户资源网络和成熟的交付体系，能够快速切入现有客户产线，以渠道优势弥补先发时间差。

锐科激光：国产光纤激光器龙头，旗下国神光电专注超快激光器。公司皮秒/飞秒激光器已批量用于碳化硅切割等精密加工场景，TGV制孔用激光器也在推进中。锐科的价值在于从激光源层面实现国产化，是产业链上游的关键环节。

市场节奏与投资风险

TGV激光设备的市场节奏可分阶段观察：

2026-2027年：从试样、中试向客户验证集中推进。目前头部企业均处于设备送样或小批量验证阶段，订单规模有限。这一阶段的核心看点是哪些企业能率先通过头部封测厂的产线验证。

2027-2028年：谁能跑通良率和可靠性，才有资格谈规模化。TGV工艺链长，单点突破不够，微孔成型、填铜、布线三个环节的良率必须同时达标，对设备稳定性和工艺一致性要求极高。

需特别注意的是，目前多家企业均处于”验证/中试”阶段，尚未贡献实质营收。TGV作为新兴工艺，其产业化进度存在不确定性，市场预期与实际落地之间可能存在时间差。

结语

TGV激光设备是玻璃基板量产的关键卡口——没有高质量的微孔，就没有可靠的填铜，更谈不上多层布线和最终封装。国产激光设备企业已在这一核心环节完成从跟跑到并跑的转变，华工科技100%国产化整机的定型标志着关键里程碑。但产业化仍需时间，从验证通过到批量供货再到贡献营收，每一步都需要扎实的技术沉淀和客户信任积累。TGV赛道长坡厚雪，真正跑出来的企业，一定是在良率、效率和成本三个维度同时兑现承诺的玩家。