描述
TA-FHG pro（Amplified, narrow linewidth, frequency-quadrupled laser）是 TOPTICA 在 TA pro 放大式窄线宽激光基础上加入四次谐波（FHG）的紫外/深紫外激光器。波长覆盖约 205–390 nm，最高输出约 3 W，典型线宽 40–250 kHz（5 µs 量测）。它把红外放大激光高效转换到深紫外，为需要短波长、高功率相干光的应用提供紧凑解决方案。
主要参数
| 波长范围（四倍频后） | 205 – 390 nm |
|---|---|
| 输出功率 | 最高约 3 W（依波长不同） |
| 粗调范围 | 最高 5 – 10 nm（依波段） |
| 典型线宽（5 µs） | 40 – 250 kHz（TA-FHG） |
| 连续扫描范围 | > 20 GHz（最高 50 GHz） |
核心特点
- TA pro 放大 + 四次谐波，实现深紫外高功率相干光。
- 线宽窄（kHz 级），适合精密与相干应用。
- 与 TA-SHG pro 同平台，配置与维护一致。
典型应用
- 深紫外光刻与微加工
- 原子/离子俘获的紫外泵浦光
- 紫外精密光谱与材料表征
资料下载
- ta-fhg-pro__product-info_TOPTICA_TA-SHG-FHG-pro_en.pdf
- ta-fhg-pro__technical_drawing_TOPTICA_TA-FHG-pro_en.pdf
- ta-fhg-pro__white-paper_TOPTICA_linewidth-measurement-diode-lasers.pdf
常见问题（FAQ）
TA-FHG pro 与 TA-SHG pro 的关系？
两者同平台：TA-SHG pro 做二次谐波（得到 205–685 nm），TA-FHG pro 做四次谐波（得到 205–390 nm 深紫外），功率与线宽量级相近。
最高功率是多少？
最高约 3 W（四倍频后，依波长而变），见官方 PIF 参数表。
深紫外波段的应用价值？
提供短波长、窄线宽、高功率相干光，适合紫外光刻、深紫外泵浦与光谱等难以用其他手段覆盖的场景。
以上参数为 TOPTICA 官方公开规格（以出厂 PIF/技术图纸为准）。实际配置、波长与功率可按需求定制，具体以正式报价与技术协议为准。本页资料用于技术选型参考，不构成采购承诺。
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