Description
产品概述
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>产品概述
LINOS 4401-608-000-26是一款515-540nm波长熔融石英远心F-Theta-Ronar场镜,标称焦距114mm。远心设计使最大远心误差仅1.2°,是515-540nm系列远心误差最小的型号,全场加工均匀性最佳。10mm入瞳扫描幅面65×65mm,聚焦光斑11μm,WD 144.5mm。全熔融石英+低吸收镀膜,兼顾远心精度与适中幅面,是绿光精密加工的高性能场镜。
LINOS 4401-608-000-26是一款515-540nm波长熔融石英远心F-Theta-Ronar场镜,标称焦距114mm。远心设计使最大远心误差仅1.2°,是515-540nm系列远心误差最小的型号,全场加工均匀性最佳。10mm入瞳扫描幅面65×65mm,聚焦光斑11μm,WD 144.5mm。全熔融石英+低吸收镀膜,兼顾远心精度与适中幅面,是绿光精密加工的高性能场镜。
产品特点
- ✓ 1.2°最小远心误差:515-540nm系列远心精度最高
- ✓ 全熔融石英材质:极低热焦移,高功率稳定性优异
- ✓ 超低吸收镀膜(-26版):每面≤30ppm@532nm
- ✓ 65×65mm适中远心幅面:比F100远心版幅面大50%
- ✓ 11μm聚焦光斑:高分辨率加工
- ✓ WD 144.5mm:工作距离适中,兼顾安全和便利
- ✓ 高激光损伤阈值:20J/cm²@532nm,8ns;0.6J/cm²@515nm,204fs
- ✓ 含可更换熔融石英保护镜
详细规格参数
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 型号 | 4401-608-000-26 |
| 设计波长 | 532nm |
| 工作波长范围 | 515-540nm |
| 有效焦距(EFL) | 114.0mm |
| 后焦距(BFL) | 150.1mm |
| 工作距(WD) | 144.5mm |
| 凸缘焦距(FFL) | 228.4mm |
| 入射光瞳(Φ) | 10mm(1/e²截断) |
| 扫描幅面 | 65×65mm |
| 扫描角 | ±17.0° |
| 聚焦光斑(Φ₀) | 11μm |
| 远心误差 | 1.2° |
| 振镜反射镜位置(m1/m2) | 13mm / 28mm |
| 镜片材质 | 熔融石英(Fused Silica) |
| 传输率 | >96% |
| GDD | 5034fs² |
| LIDT(ns) | 20J/cm²@532nm,8ns |
| LIDT(fs) | 0.6J/cm²@515nm,204fs |
| 重量 | 1608g |
| 螺纹接口 | M85×1 |
| 保护镜型号 | PG13(4401-496-005-01) |
工作原理
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>工作原理
4401-608-000-26远心场镜是515-540nm系列中远心精度最高的型号,1.2°的远心误差意味着在整个65×65mm扫描幅面内,主光线偏离垂直方向最多仅1.2°。这种极高远心精度带来的优势:①全场激光入射角几乎一致,加工质量从中心到边缘完全均匀;②聚焦光斑在整个幅面内保持正圆形,不会出现边缘椭圆化;③对工件表面不平整度的容忍度更高。114mm焦距在远心精度和扫描幅面之间取得优秀平衡,65×65mm幅面比100mm远心版本(43×43mm)扩大50%以上。
4401-608-000-26远心场镜是515-540nm系列中远心精度最高的型号,1.2°的远心误差意味着在整个65×65mm扫描幅面内,主光线偏离垂直方向最多仅1.2°。这种极高远心精度带来的优势:①全场激光入射角几乎一致,加工质量从中心到边缘完全均匀;②聚焦光斑在整个幅面内保持正圆形,不会出现边缘椭圆化;③对工件表面不平整度的容忍度更高。114mm焦距在远心精度和扫描幅面之间取得优秀平衡,65×65mm幅面比100mm远心版本(43×43mm)扩大50%以上。
典型应用
| ▶ 绿光激光精密微加工(全场均匀性要求极高) | ▶ 半导体晶圆绿光激光精密处理 |
| ▶ 532nm超短脉冲精密打标/微结构加工 | ▶ 显示面板TFT/CF修复 |
| ▶ 绿光激光精密划片/切割 | ▶ 微电子封装绿光激光加工 |
| ▶ 精密微焊接(紫铜/铝合金绿光焊接) |
选型建议
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>选型建议
选择4401-608-000-26的场景:①需要最高远心精度(1.2°);②65×65mm适中幅面远心加工;③全场均匀性要求极高的532nm/515nm加工。如需更小幅面远心可选4401-547-000-26(F100,43×43mm);如需更大幅面非远心可选4401-496-000-26(F255,183×183mm)。
选择4401-608-000-26的场景:①需要最高远心精度(1.2°);②65×65mm适中幅面远心加工;③全场均匀性要求极高的532nm/515nm加工。如需更小幅面远心可选4401-547-000-26(F100,43×43mm);如需更大幅面非远心可选4401-496-000-26(F255,183×183mm)。
同系列对比
| 型号 | 焦距 | 设计 | 幅面 | 入瞳 | 光斑 | 远心误差 | WD | FFL |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 4401-547-000-26 | 100mm | 远心 | 43×43 | 14mm | 9μm | 1.7° | 138.5mm | 219.5mm |
| 4401-608-000-26 | 114mm | 远心 | 65×65 | 10mm | 11μm | 1.2° | 144.5mm | 228.4mm |
| 4401-496-000-26 | 255mm | 非远心 | 183×183 | 10mm | 25μm | — | — | 365.2mm |
| 4401-605-000-26 | 265mm | 非远心 | 133×133 | 20mm | 13μm | 7.7° | 346.9mm | 435.4mm |
品牌介绍
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>品牌介绍
LINOS(Qioptiq/Excelitas)——源自德国的精密光学品牌,拥有125年+光学设计与制造经验。F-Theta-Ronar系列场镜是激光材料加工领域的标杆产品,采用全熔融石英材质与超低吸收镀膜技术(≤30ppm@532nm),专为高功率及超短脉冲激光应用设计,在半导体制造、精密微加工等领域具有不可替代的地位。现为Excelitas Technologies旗下品牌。
LINOS(Qioptiq/Excelitas)——源自德国的精密光学品牌,拥有125年+光学设计与制造经验。F-Theta-Ronar系列场镜是激光材料加工领域的标杆产品,采用全熔融石英材质与超低吸收镀膜技术(≤30ppm@532nm),专为高功率及超短脉冲激光应用设计,在半导体制造、精密微加工等领域具有不可替代的地位。现为Excelitas Technologies旗下品牌。
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📧 邮箱:info@soar-laser.cn
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