Description
产品概述
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>产品概述
LINOS 4401-496-000-26是一款515-540nm波长熔融石英F-Theta-Ronar场镜,标称焦距255mm,非远心设计。最大扫描幅面183×183mm,10mm入射光瞳下聚焦光斑25μm,扫描角±20.9°。全熔融石英材质配合超低吸收镀膜(≤30ppm@532nm),激光损伤阈值高达20J/cm²@532nm,8ns,专为高功率绿光激光加工和超短脉冲应用设计。
LINOS 4401-496-000-26是一款515-540nm波长熔融石英F-Theta-Ronar场镜,标称焦距255mm,非远心设计。最大扫描幅面183×183mm,10mm入射光瞳下聚焦光斑25μm,扫描角±20.9°。全熔融石英材质配合超低吸收镀膜(≤30ppm@532nm),激光损伤阈值高达20J/cm²@532nm,8ns,专为高功率绿光激光加工和超短脉冲应用设计。
产品特点
- ✓ 全熔融石英材质:极低热焦移,高功率下光学稳定性优异
- ✓ 超低吸收镀膜(-26版):每面吸收≤30ppm@532nm,减少热透镜效应
- ✓ 183×183mm超大扫描幅面:大范围加工,减少分区域拼接
- ✓ 高激光损伤阈值:20J/cm²@532nm,8ns;0.6J/cm²@515nm,204fs
- ✓ FFL 365.2mm:标准M85×1螺纹法兰安装
- ✓ 宽波段镀膜515-540nm:覆盖532nm/515nm等主流绿光/紫外倍频波长
- ✓ 传输率≥96%:高效透光,减少能量损失
- ✓ 含可更换熔融石英保护镜:保护镜可更换,延长场镜寿命
详细规格参数
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 型号 | 4401-496-000-26 |
| 设计波长 | 532nm |
| 工作波长范围 | 515-540nm |
| 标称焦距(f) | 255mm |
| 扫描幅面 | 183×183mm |
| 扫描角 | ±20.9° |
| 入射光瞳(Φ) | 10mm(1/e²截断) |
| 聚焦光斑(Φ₀) | 25μm |
| 振镜反射镜位置(m1/m2) | 13mm / 25mm |
| 凸缘焦距(FFL) | 365.2mm |
| 镜片材质 | 熔融石英(Fused Silica) |
| 远心误差 | 非远心设计 |
| 传输率 | ≥96% |
| 镀膜类型 | 低吸收镀膜(-26版) |
| LIDT(ns) | 20J/cm²@532nm,8ns |
| LIDT(fs) | 0.6J/cm²@515nm,204fs |
| 螺纹接口 | M85×1 |
| 保护镜型号 | PG13 |
工作原理
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>工作原理
LINOS F-Theta-Ronar场镜采用3-4片式全熔融石英光学设计,通过精密的像差校正实现衍射极限性能。F-Theta特性确保焦点位移与扫描角度成线性关系(y=f×θ),使等角速度扫描时焦平面上标记速度均匀。全熔融石英材质的热膨胀系数极低(0.55×10⁻⁶/℃),配合超低吸收镀膜,在高功率激光照射下焦点偏移(thermal focus shift)极小,这是普通光学玻璃场镜无法比拟的优势。非远心设计使得场镜更紧凑,适合大幅面加工应用。
LINOS F-Theta-Ronar场镜采用3-4片式全熔融石英光学设计,通过精密的像差校正实现衍射极限性能。F-Theta特性确保焦点位移与扫描角度成线性关系(y=f×θ),使等角速度扫描时焦平面上标记速度均匀。全熔融石英材质的热膨胀系数极低(0.55×10⁻⁶/℃),配合超低吸收镀膜,在高功率激光照射下焦点偏移(thermal focus shift)极小,这是普通光学玻璃场镜无法比拟的优势。非远心设计使得场镜更紧凑,适合大幅面加工应用。
典型应用
| ▶ 高功率绿光激光打标(532nm/515nm) | ▶ 绿光激光微加工(精密切割/钻孔) |
| ▶ 半导体晶圆绿光激光处理 | ▶ 超短脉冲绿光激光微纳加工 |
| ▶ PCB/FPC绿光激光精密切割 | ▶ 太阳能电池绿光激光划片 |
| ▶ 显示面板绿光激光修复 |
选型建议
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>选型建议
选择4401-496-000-26的场景:①515-540nm波长高功率/超短脉冲激光加工;②需要183×183mm大扫描幅面;③对热稳定性要求高(全石英+低吸收镀膜)。如需远心设计可选4401-547-000-26(F100远心)或4401-608-000-26(F114远心);如需更小幅面可选4401-605-000-26(F265,133×133mm,20mm大入瞳)。
选择4401-496-000-26的场景:①515-540nm波长高功率/超短脉冲激光加工;②需要183×183mm大扫描幅面;③对热稳定性要求高(全石英+低吸收镀膜)。如需远心设计可选4401-547-000-26(F100远心)或4401-608-000-26(F114远心);如需更小幅面可选4401-605-000-26(F265,133×133mm,20mm大入瞳)。
同系列对比
| 型号 | 焦距 | 设计 | 幅面 | 入瞳 | 光斑 | 远心误差 | FFL |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 4401-547-000-26 | 100mm | 远心 | 43×43 | 14mm | 9μm | 1.7° | 219.5mm |
| 4401-608-000-26 | 114mm | 远心 | 65×65 | 10mm | 11μm | 1.2° | 228.4mm |
| 4401-605-000-26 | 265mm | 非远心 | 133×133 | 20mm | 13μm | 7.7° | 435.4mm |
| 4401-496-000-26 | 255mm | 非远心 | 183×183 | 10mm | 25μm | — | 365.2mm |
品牌介绍
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>品牌介绍
LINOS(Qioptiq/Excelitas)——源自德国的精密光学品牌,拥有125年+光学设计与制造经验。F-Theta-Ronar系列场镜是激光材料加工领域的标杆产品,采用全熔融石英材质与超低吸收镀膜技术(≤30ppm@532nm),专为高功率及超短脉冲激光应用设计,在半导体制造、精密微加工等领域具有不可替代的地位。现为Excelitas Technologies旗下品牌。
LINOS(Qioptiq/Excelitas)——源自德国的精密光学品牌,拥有125年+光学设计与制造经验。F-Theta-Ronar系列场镜是激光材料加工领域的标杆产品,采用全熔融石英材质与超低吸收镀膜技术(≤30ppm@532nm),专为高功率及超短脉冲激光应用设计,在半导体制造、精密微加工等领域具有不可替代的地位。现为Excelitas Technologies旗下品牌。
联系方式
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📧 邮箱:info@soar-laser.cn
🌐 官网:www.soar-laser.cn
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