产品概述
AMT 266 3W-200K 是英诺激光 AMT系列 工业高功率深紫外皮秒激光器 中的产品型号。
AMT深紫外皮秒激光器拥有世界领先的四倍频换点功能，能保证换点后光束质量、光斑大小、光束指向性不变，提高机器稳定性。同时拥有全新设计的光学系统具有可靠的功率稳定性<3%，优越的光束质量（M²90%），可输出深紫外波长266nm，功率最高可达3W以上，实现优异的激光微加工质量。AMT-266皮秒激光器拥有自研高性能高可靠性的核心模块，如超快种子源、非线性晶体的高温加热炉等，保证了整机系统的长期可靠性，实现单点寿命大于1000hrs，整机寿命大于20000hrs；拥有空气洁净系统，可以对腔内进行清洁维护，延长晶体使用寿命。AMT深紫外激光器支持多触发模式可选，具备同步输出功率，内置功率检查模块，是性能与稳定性的完美结合。
产品定位：低重频高能量版
技术参数
| 型号 | AMT 266 3W-200K |
|---|---|
| 中心波长 | 266nm 深紫外 |
| 输出功率 | >3W @200kHz |
| 单脉冲能量 | >15μJ |
| 重复频率 | 200kHz |
| 脉冲宽度 | <12ps |
| 光束质量 | M²<1.2 |
| 光束发散角 | <2 mrad |
| 光斑圆度 | ≥90% |
| 功率稳定性 | ≤2% rms |
| 脉冲稳定性 | ≤2% rms |
| 工作温度 | 10 ~ 35 °C |
| 电源 | AC 220 V |
| 冷却方式 | 水冷 |
同系列型号对比
下表为 AMT系列 全部型号参数对比，黄色高亮 为本款产品：
| 型号 | 波长 | 功率 | 单脉冲能量 | 重复频率 |
|---|---|---|---|---|
| AMT 266 3W-200K | 266nm 深紫外 | >3W @200kHz | >15μJ | 200kHz |
| AMT 266 3W-70M | 266nm 深紫外 | >3W @70MHz | >0.043μJ | 70MHz |
产品特点
- 266nm深紫外波长，光子能量高
- 皮秒脉宽，热影响区极小
- 高光束质量 M²<1.2
- 支持200kHz~70MHz宽频率范围
- 高可靠性，长寿命
- 全固态设计，维护成本低
- 支持外部触发和同步输出
应用场景
- 半导体晶圆精密加工
- 柔性电路板（FPC）切割
- 薄膜精密蚀刻
- 生物医学微加工
- OLED/显示面板加工
- 纳米级材料加工
- 蓝宝石玻璃微加工
AMT皮秒激光器常见问题
Q1: 266nm深紫外激光器有什么优势？
A: 266nm深紫外波长短，光子能量高，属于冷加工范畴，加工精度远高于普通紫外（355nm）和可见光激光器，特别适合半导体和薄膜等精密加工。
Q2: AMT系列支持哪些重复频率？
A: AMT系列有多种版本，低重频版本为200kHz（高能量），高重频版本可达70MHz，可根据加工工艺需求选择合适的型号。
Q3: 深紫外激光器的寿命如何？
A: 采用全固态设计和高品质光学元件，配合完善的质保和售后服务体系，确保长期稳定运行。具体寿命取决于使用环境和维护情况。
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免责声明：本页产品参数仅供参考，实际产品规格以英诺激光（Inno Laser）官方确认及供货合同为准。产品外观及规格如有变更，恕不另行通知。
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