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RAYLASE SUPERSCAN IV SOLAR 光伏扫描振镜 太阳能电池加工 15-20mm
SUPERSCAN IV SOLAR是RAYLASE专为太阳能电池激光加工开发的高速扫描振镜。在PERC太阳能电池生产中，激光用于背接触开口（LCO）和选择性激光掺杂，需要微米级精度的极细结构加工，同时产能要求每小时超过3600片晶圆。SUPERSCAN IV SOLAR凭借±10µm精度、超过60m/s的标记速度和SiC轻质反射镜带来的极高动态响应，可在不到1秒内完成100-300条激光线标记，确保高产能和低成本生产。提供15mm和20mm两种孔径，SUPERSCAN IV 20 SOLAR可支持M12大尺寸晶圆210×210mm²加工区域。
技术参数
| 参数 | 数值 |
|---|---|
| 输入孔径 | 15mm / 20mm |
| 典型偏转角 | ±0.393rad |
| 加工速度 | 最高200rad/s |
| 定位速度 | 最高200rad/s |
| 分辨率(SL2-100) | 20bit / 0.76µrad |
| 分辨率(XY2-100) | 16bit / 12µrad |
| 重复定位精度(RMS) | ＜2.0µrad |
| 温度漂移-增益 | 最大15ppm/K |
| 温度漂移-偏移 | 最大10µrad/K |
| 8h长期漂移(有水冷) | ＜40µrad |
| 接口 | SL2-100 / XY2-100 Enhanced |
| 电源 | +48V, 2Arms, max.5A |
| 防护等级 | IP64 |
| 重量(15mm) | 约3.2kg |
| 重量(20mm) | 约5.5kg |
典型应用
- 太阳能电池PERC工艺激光接触开口(LCO)、选择性激光掺杂、晶圆结构化加工
咨询热线: 15927220467 | 网址: www.soar-laser.cn
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