描述
FA-FHG pro(Fiber Amplified, narrow linewidth, frequency-quadrupled laser)是 TOPTICA 采用光纤放大器放大窄线宽激光、再进行四次谐波(FHG)的深紫外激光器。波长覆盖约 205–390 nm,最高输出约 3 W,并提供光纤耦合输出。它在深紫外波段兼顾高功率、窄线宽与系统集成便利性。
主要参数
| 波长范围(四倍频后) | 205 – 390 nm |
|---|---|
| 输出功率 | 最高约 3 W(依波长不同) |
| 典型线宽(5 µs) | 40 – 250 kHz(TA-FHG 平台) |
| 光纤耦合 | ≥ 369 nm 可配 |
核心特点
- 光纤放大 + 四倍频,深紫外高功率且可光纤输出。
- 窄线宽、低噪声。
- 与 FA-SHG pro 同平台,配置一致。
典型应用
- 深紫外光刻与微加工
- 深紫外泵浦与光谱
- 需要光纤分发的紫外系统
资料下载
- fa-fhg-pro__product-info_TOPTICA_TA-SHG-FHG-pro_en.pdf
- fa-fhg-pro__white-paper_TOPTICA_low-noise-532nm-80W_en.pdf
- fa-fhg-pro__white-paper_TOPTICA_linewidth-measurement-diode-lasers.pdf
常见问题(FAQ)
FA-FHG pro 与 TA-FHG pro 区别?
都在 FHG 四倍频平台;FA-FHG pro 用光纤放大器并支持光纤耦合输出,更便于系统集成。
波长与功率?
四倍频后覆盖 205–390 nm、最高约 3 W,详见官方 PIF。
为什么用光纤放大?
光纤放大可在保持窄线宽的同时获得高功率,并通过光纤把光远程输送到使用端。
以上参数为 TOPTICA 官方公开规格(以出厂 PIF/技术图纸为准)。实际配置、波长与功率可按需求定制,具体以正式报价与技术协议为准。本页资料用于技术选型参考,不构成采购承诺。









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