描述
产品概述
TOPTICA TopWave 266 是基于频率变换的工业级连续波（CW）深紫外激光器，在 266 nm 提供最高 300 mW 输出，具备优异功率稳定性与超高可靠性。完整的紫外光路（含谐振倍频腔）封装于特制密封腔体中，配合全自动光学移相器，典型寿命超过 10,000 小时；低噪声（RMS 典型 < 0.1%）设计显著提升测量信噪比。
主要技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 波长 | 266 nm ± 0.5 nm |
| 输出功率 | 150 mW（266-150）/ 300 mW（266-300） |
| 线宽 | < 1 MHz |
| 光束腰直径 @1m（1/e²） | 0.4 ± 0.2 mm |
| 光束发散（典型） | < 1.2 mrad |
| 椭圆度 | < 15 % |
| 横模 | TEM₀₀ |
| M² | M²x < 1.3, M²y < 1.3 |
| 偏振 | 线性，垂直 < ±3° |
| 消光比 | > 200 : 1 |
| 功率稳定性 | < 1 % / 8 h |
| RMS 噪声 | < 0.3 %（10 Hz – 10 MHz） |
| 寿命（最小 / 典型） | 5000 h / 10000 h（含光学移相） |
| 激光头尺寸 | 135×295×470 mm³（H×W×D） |
| 控制箱尺寸 | 154×378×448 mm³（H×W×D） |
| 线长（umbilical） | 2 m |
| 激光头冷却 | 传导（需散热片；可选闭环冷水机） |
| 控制箱冷却 | 风冷 |
| 线电压 | AC 100–240 V, 50/60 Hz |
| 功耗 | < 250 W（典型 < 120 W） |
| 通信接口 | USB, Ethernet |
产品特点与技术对比
266 nm 高功率
266 nm 输出最高 300 mW，低噪声连续运转。
超稳定低噪声
RMS 噪声典型 < 0.1%，提升测量信噪比。
优异寿命
密封倍频腔 + 自动光学移相器，典型寿命 > 10,000 h。
全寿命一致光束质量
优化光束整形置于密封紫外段内，M² < 1.3 在全寿命保持一致。
高电光效率
无需冷水机（可选闭环冷水机用于非理想散热环境）。
即插即用
交钥匙系统，可通过控制箱触控屏或 USB/以太网 PC GUI 控制。
典型应用
- 半导体检测（Semicon Inspection）
- 拉曼光谱与显微（Raman Spectroscopy & Microscopy）
- 光纤布拉格光栅（Fiber Bragg Grating）
- 光刻（Lithography）
- 光盘母盘（Disk Mastering）
- 光学检测（Optics Testing）
- 光致发光（Photoluminescence, PL）
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常见问题（FAQ）
TopWave 266 的输出功率与波长？
在 266 nm ± 0.5 nm 提供 150 mW（266-150）或 300 mW（266-300）连续波输出。
TopWave 266 的寿命与可靠性如何？
完整紫外光路密封于特制腔体并配全自动光学移相器，典型寿命 > 10,000 小时，适合工业 7×24 运转。
TopWave 266 需要水冷吗？
采用传导冷却，通常无需冷水机；在散热条件不佳的环境可选配闭环冷水机以提升稳定性。
TopWave 266 适合哪些应用？
适合半导体检测、深紫外拉曼与显微、光纤布拉格光栅、光刻、光盘母盘与光致发光等。
免责声明
本文所列参数为 TOPTICA 官方规格书中的典型值，实际指标以原厂最新规格书及合同为准。TOPTICA 为原厂品牌，高飞激光（soar-laser.cn）提供该系列产品的销售与技术支持。产品图片与技术资料均来自 TOPTICA 官方，版权归原厂所有。选型与订购前，请与我们的技术团队确认您所需的具体波长、功率与接口要求。
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