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Description
产品概述
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>产品概述
LINOS 4401-547-000-26是一款515-540nm波长熔融石英远心F-Theta-Ronar场镜，标称焦距100mm。远心设计使光束垂直入射工件表面，最大远心误差仅1.7°，确保加工区域边缘和中心加工质量一致。10mm入瞳扫描幅面46×46mm/14mm入瞳43×43mm，聚焦光斑9-10μm。M85×1螺纹，FFL 219.5mm，WD 138.5mm。全熔融石英+低吸收镀膜，是精密绿光加工的首选场镜。
LINOS 4401-547-000-26是一款515-540nm波长熔融石英远心F-Theta-Ronar场镜，标称焦距100mm。远心设计使光束垂直入射工件表面，最大远心误差仅1.7°，确保加工区域边缘和中心加工质量一致。10mm入瞳扫描幅面46×46mm/14mm入瞳43×43mm，聚焦光斑9-10μm。M85×1螺纹，FFL 219.5mm，WD 138.5mm。全熔融石英+低吸收镀膜，是精密绿光加工的首选场镜。
产品特点
- ✓ 远心设计：光束垂直入射，远心误差仅1.7°，加工均匀性极佳
- ✓ 全熔融石英材质：热焦移极小，高功率稳定性优异
- ✓ 超低吸收镀膜（-26版）：每面≤30ppm@532nm
- ✓ 9-10μm超小聚焦光斑：高分辨率加工
- ✓ 双入瞳规格：10mm入瞳46×46mm/14mm入瞳43×43mm
- ✓ 高激光损伤阈值：20J/cm²@532nm,8ns；0.6J/cm²@515nm,204fs
- ✓ WD 138.5mm：适中工作距离，操作便利
- ✓ 含可更换熔融石英保护镜PG 4401-496-005-01
详细规格参数
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 型号 | 4401-547-000-26 |
| 设计波长 | 532nm |
| 工作波长范围 | 515-540nm |
| 有效焦距(EFL) | 104.7mm |
| 后焦距(BFL) | 141.4mm |
| 工作距(WD) | 138.5mm |
| 凸缘焦距(FFL) | 219.5mm |
| 入射光瞳(Φ) | 10mm / 14mm(1/e²截断) |
| 扫描幅面 | 46×46mm(Φ10) / 43×43mm(Φ14) |
| 扫描角 | ±13.1°(Φ10) / ±12.2°(Φ14) |
| 聚焦光斑(Φ₀) | 10μm(Φ10) / 9μm(Φ14) |
| 远心误差 | 1.7° |
| 振镜反射镜位置(m1/m2) | 13/28mm(Φ10) / 17/28mm(Φ14) |
| 镜片材质 | 熔融石英(Fused Silica) |
| 传输率 | >96% |
| GDD | 4951fs² |
| LIDT(ns) | 20J/cm²@532nm,8ns |
| LIDT(fs) | 0.6J/cm²@515nm,204fs |
| 重量 | 1650g |
| 螺纹接口 | M85×1 |
| 保护镜型号 | PG13(4401-496-005-01) |
工作原理
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>工作原理
LINOS远心F-Theta-Ronar场镜在普通F-Theta设计基础上增加了远心光路校正，使主光线在整个扫描幅面内始终垂直于工件表面（远心误差仅1.7°）。远心设计的核心优势在于：①加工区域边缘和中心的激光入射角一致，避免了非远心场镜边缘入射角倾斜导致的加工质量下降；②聚焦光斑形状在整个幅面内保持圆形，不会因入射角倾斜而畸变为椭圆；③对工件表面高度变化的敏感度降低，焦深范围内加工质量一致。这使得4401-547-000-26特别适合要求全场均匀加工质量的应用。
LINOS远心F-Theta-Ronar场镜在普通F-Theta设计基础上增加了远心光路校正，使主光线在整个扫描幅面内始终垂直于工件表面（远心误差仅1.7°）。远心设计的核心优势在于：①加工区域边缘和中心的激光入射角一致，避免了非远心场镜边缘入射角倾斜导致的加工质量下降；②聚焦光斑形状在整个幅面内保持圆形，不会因入射角倾斜而畸变为椭圆；③对工件表面高度变化的敏感度降低，焦深范围内加工质量一致。这使得4401-547-000-26特别适合要求全场均匀加工质量的应用。
典型应用
| ▶ 绿光激光精密打标（全场均匀性要求高） | ▶ 半导体晶圆绿光激光处理 |
| ▶ 532nm/515nm超短脉冲精密微加工 | ▶ 显示面板绿光激光修复（TFT修复） |
| ▶ 绿光激光精密切割/钻孔 | ▶ 太阳能电池绿光激光划片/钻孔 |
| ▶ 精密微焊接（绿光铜焊接） |
选型建议
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>选型建议
选择4401-547-000-26的场景：①需要远心设计保证全场均匀加工质量；②43-46mm小幅面精密加工；③532nm/515nm高功率或超短脉冲激光。如需更大远心幅面可选4401-608-000-26(F114远心,65×65mm)；如需更大非远心幅面可选4401-496-000-26(F255,183×183mm)。
选择4401-547-000-26的场景：①需要远心设计保证全场均匀加工质量；②43-46mm小幅面精密加工；③532nm/515nm高功率或超短脉冲激光。如需更大远心幅面可选4401-608-000-26(F114远心,65×65mm)；如需更大非远心幅面可选4401-496-000-26(F255,183×183mm)。
同系列对比
| 型号 | 焦距 | 设计 | 幅面 | 入瞳 | 光斑 | 远心误差 | WD | FFL |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 4401-547-000-26 | 100mm | 远心 | 43×43 | 14mm | 9μm | 1.7° | 138.5mm | 219.5mm |
| 4401-608-000-26 | 114mm | 远心 | 65×65 | 10mm | 11μm | 1.2° | 144.5mm | 228.4mm |
| 4401-496-000-26 | 255mm | 非远心 | 183×183 | 10mm | 25μm | — | — | 365.2mm |
| 4401-605-000-26 | 265mm | 非远心 | 133×133 | 20mm | 13μm | 7.7° | 346.9mm | 435.4mm |
品牌介绍
“font-size:18px;font-weight:700;color:#1a1a2e;border-left:4px solid #e63946;padding-left:12px;margin-bottom:14px;line-height:1.4”>品牌介绍
LINOS（Qioptiq/Excelitas）——源自德国的精密光学品牌，拥有125年+光学设计与制造经验。F-Theta-Ronar系列场镜是激光材料加工领域的标杆产品，采用全熔融石英材质与超低吸收镀膜技术（≤30ppm@532nm），专为高功率及超短脉冲激光应用设计，在半导体制造、精密微加工等领域具有不可替代的地位。现为Excelitas Technologies旗下品牌。
LINOS（Qioptiq/Excelitas）——源自德国的精密光学品牌，拥有125年+光学设计与制造经验。F-Theta-Ronar系列场镜是激光材料加工领域的标杆产品，采用全熔融石英材质与超低吸收镀膜技术（≤30ppm@532nm），专为高功率及超短脉冲激光应用设计，在半导体制造、精密微加工等领域具有不可替代的地位。现为Excelitas Technologies旗下品牌。
联系方式
📞 咨询热线：159-2722-0467
📧 邮箱：info@soar-laser.cn
🌐 官网：www.soar-laser.cn
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