描述

产品概述

LINOS 4401-511-000-21 是德国 Excelitas（Qioptiq）LINOS F-Theta-Ronar 系列紫外远心 F-Theta 扫描场镜，设计波长 355nm（适用 340–360nm），焦距 167mm，熔石英材质，扫描幅面 65×65mm，聚焦光斑 13μm。远心设计使扫描光束在整个幅面内垂直入射工件表面，消除场曲和焦点偏移，边缘与中心加工效果一致，是紫外精密打标和超快激光微加工的高端镜头。

产品特点

• 远心光学设计：主光线垂直入射工件，打深孔、厚材切割时无侧壁阴影、无焦点漂移，全幅面光斑均匀。
• 熔石英材质：热膨胀低、吸收小，有效抑制热焦点漂移，适合高功率及皮秒/飞秒超快激光。
• 宽带角度优化增透膜：340–360nm 总透过率 >96%。
• 高损伤阈值：镀膜 LIDT 达 4 J/cm²（355nm, 6ns）。
• 背反优化设计：光学设计针对入射光背反射优化，降低返回光损伤振镜的风险。
• 标配可更换保护镜片：PG 4401-511-823-00，保护内部光学元件，更换方便。
• 标准接口：M85×1 安装螺纹，兼容主流振镜扫描头。

技术参数

参数	规格
型号	4401-511-000-21
类型	LINOS F-Theta-Ronar 远心 F-Theta 场镜（telecentric）
品牌	LINOS / Excelitas（Qioptiq，德国）
设计波长	355 nm
适用波长	340–360 nm（紫外）
镜片材质	熔石英（Fused Silica）
有效焦距 EFL	166.9 mm（标称 167 mm）
工作距离 WD	255 mm
后焦距 BFL	255.8 mm
法兰焦距 FFL	374.1 mm
最大扫描幅面	65 × 65 mm
最大扫描角	±11.3°
入射光束直径（1/e²截断）	10 mm
聚焦光斑直径	13 μm
最大远心误差	≤ 1.0°
总透过率（340–360nm）	> 96%
镀膜损伤阈值 LIDT	4 J/cm² @355nm, 6ns, 100Hz；0.4 J/cm² @343nm, 200fs, 1kHz
群延迟色散 GDD	9708 fs²
推荐镜距 m1 / m2	13.0 mm / 48.0 mm
安装螺纹	M85×1
配套保护镜片	PG 4401-511-823-00（可更换熔石英保护镜）
重量	约 2.5 kg

数据来源：Excelitas / LINOS 官方产品页及 F-Theta-Ronar 官方数据表（2025版）。

同系列 355nm 紫外场镜选型参考

型号	焦距(mm)	扫描幅面(mm)	光斑(μm)	类型
4401-576-000-21	70	28×28	5	远心
4401-509-000-21	100	46×46	7	远心
4401-511-000-21	167	65×65	13	远心（本品）
4401-399-000-21	160	—	15	标准
4401-481-000-21	255	大幅面	17	标准

典型应用

• 355nm 紫外激光打标、精细雕刻（塑料、玻璃、陶瓷、金属）
• 半导体晶圆划片、芯片打标
• OLED / 电子显示行业柔性材料加工
• 皮秒/飞秒超快激光微加工、钻孔、切割
• FPC、PCB 紫外精密切割

常见问题

Q：这款镜头配多大功率的紫外激光器？
A：适用于 340–360nm 紫外激光系统（3W/5W/10W/15W/20W 等 355nm 打标机），要求入射光束直径不超过 10mm（1/e²）。

Q：远心场镜和普通场镜有什么区别？
A：远心镜头全幅面内光束垂直入射工件，打深孔、斜面或厚材时无阴影、边缘光斑不拉伸；普通场镜边缘光束倾斜，适合平面浅层打标。

Q：保护镜片是什么型号？
A：配套 PG 4401-511-823-00 熔石英保护镜，建议定期检查更换以保护主镜头。

购买与服务

高飞激光长期供应 LINOS / Excelitas 全系列 F-Theta 场镜、扩束镜及光学配件，提供选型匹配与技术支持。热线 15927220467，邮箱 859818709@qq.com。

免责声明：以上参数依据厂商公开资料整理，实际以厂商最新数据表为准；价格与货期请咨询确认。