描述
产品概述
远心 F-Theta 场镜绿光扫描镜头的首选型号之一:LINOS 4401-517-000-26,出自 Excelitas Technologies(Qioptiq,德国)F-Theta-Ronar 产品线。设计波长 532 nm,焦距 166.1 mm(标称 167 mm),熔石英(Fused Silica)镜体,86×86 mm 扫描幅面内光斑直径约 3.4 μm,透过率 > 96,为激光打标、雕刻和微加工提供稳定一致的聚焦性能。
产品特点
- 远心光学设计:主光线在整个幅面内垂直入射工件,孔侧壁无锥度、边缘与中心加工一致,适合深雕、精密切割与打孔。
- 绿光波段专用优化:设计波长 532 nm,工作波段总透过率 > 96。
- 高损伤阈值镀膜:镀膜 LIDT 20 J/cm²,耐受高功率长时间运行。
- 熔石英镜体:热膨胀系数低、吸收小,抑制热透镜效应;低吸收镀膜进一步降低膜层发热。
- 超短脉冲适用:群延迟色散 GDD 仅 4879 fs²,皮秒/飞秒激光加工无脉冲展宽之忧。
- 标配可更换保护镜片:保护镜片 PG 4401-517-006-00,隔离粉尘与飞溅,保护内部镜片,维护成本低。
技术参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | 4401-517-000-26 |
| 类型 | LINOS F-Theta-Ronar 远心 F-Theta 场镜(low absorption 低吸收) |
| 品牌 | LINOS / Excelitas Technologies(Qioptiq,德国) |
| 设计波长 | 532 nm |
| 有效焦距 EFL | 166.1 mm |
| 后焦距 BFL | 218.2 mm |
| 工作距离 WD | 215.5 mm |
| 法兰焦距 FFL | 313.4 mm |
| 最大入射光束直径(1/e²) | 14.0 mm |
| 推荐振镜间距 m1 | 17.0 mm |
| 推荐振镜间距 m2 | 33.0 mm |
| 推荐振镜间距 m2(机械) | 27.8 mm |
| 扫描角 ±θ | 15.4 ° |
| 扫描幅面 | 86 x 86 mm |
| 聚焦光斑直径 | 3.4 μm |
| 最大远心误差 | 3.4 ° |
| 工作波段总透过率 | > 96 |
| 群延迟色散 GDD | 4879 fs² |
| 镀膜 LIDT | 20 J/cm² |
| 后反射焦点位置(自第一表面) | 3.3; 4.5; 6.1; 10.1; 14.7; 15.1; 40.0 mm |
| 重量 | 2250 g |
| 保护镜片型号 | 4401-517-006-00 |
典型应用场景
- 微加工与科研:群延迟色散 GDD 4879 fs²,超快微加工脉冲不展宽、光斑能量集中。
- 切割与打孔:远心结构让深孔侧壁几乎无锥度,厚材切割边缘垂直。
- 精密激光焊接:有效焦距 166.1 mm(标称 167 mm),焦深适中,配合振镜焊接电池壳体、精密五金件,焊缝一致性好。
- 激光打标与雕刻:86×86 mm 幅面配合约 3.4 μm 光斑,金属、塑料、镀层打标边缘清晰,小字符与二维码还原度高。
安装与选型提示:场镜性能发挥依赖正确安装。先把推荐振镜间距 m1=17.0 mm、m2=33.0 mm 输入扫描头软件,再按法兰焦距 FFL 313.4 mm 确定场镜基准面到工件面的距离,最后微调 Z 轴获得最小光斑即可投入生产。日常请保留保护镜片 PG 4401-517-006-00 并定期检查污染,镜片污染会直接导致光斑能量分布劣化。如需其他幅面,可按同系列不同焦距型号按比例选型(本型号 f=167 mm 对应 86×86 mm 幅面)。
常见问题 FAQ
4401-517-000-26 的安装接口是什么?
本型号法兰焦距 FFL 313.4 mm,与主流振镜扫描头通过安装螺纹连接,推荐振镜间距 m1=17.0 mm、m2=33.0 mm,选型时把这两个尺寸提供给扫描头厂家即可。
4401-517-000-26 用在什么行业?
典型应用包括绿光激光打标、激光雕刻、激光精密焊接、晶圆/玻璃/薄膜微加工等,远心结构尤其适合深孔加工与垂直度敏感工艺。
4401-517-000-26 的超短脉冲性能如何?
群延迟色散 GDD 为 4879 fs²,皮秒、飞秒脉冲通过后几乎不展宽;配合低吸收镜体,长时间高功率运行焦点漂移小。









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