产品概述
Revo-1035-6TA 是华日激光 Revo 257深紫外飞秒激光器 中的工业级飞秒激光器产品。
Revo-257是一款集红外、绿光与深紫外（DUV）于一体的三波长飞秒激光器，专为半导体前道工艺与高阶精修打造。产品基于华日成熟的红外飞秒种子源及高效四倍频技术，实现257nm的稳定输出。其极短波长具备在纳米尺度下通过光化学作用实现材料去除，是半导体掩模版精修及高端晶圆检测的理想光源。深紫外精密赋能，定义纳米级修复新标准。
产品定位：三波长激光器红外输出（含绿光/深紫外可选）
技术参数
| 型号 | Revo-1035-6TA |
|---|---|
| 中心波长 | 1035nm红外 |
| 输出功率 | 6W |
| 单脉冲能量 | 6 μJ @1MHz |
| 重复频率 | 1 MHz |
| 脉冲宽度 | <290 fs |
| 光束质量 | M²<1.3 |
| 光束发散角 | <2 mrad |
| 光斑圆度 | ≥90% |
| 指向稳定性 | <50 μrad/°C |
| 偏振消光比 | >100:1 |
| 脉冲稳定性 | ≤2% rms |
| 功率稳定性 | ≤2% rms |
| 工作温度 | 10 ~ 30 °C |
| 电源 | AC 220 V |
| 外部接口 | RS232, Ethernet |
同系列型号对比
下表为 Revo257系列 全部型号参数对比，黄色高亮 为本款产品：
| 型号 | 波长 | 功率 | 单脉冲能量 | 重复频率 |
|---|---|---|---|---|
| Revo-1035-6TA | 1035nm红外 | 6W | 6 μJ @1MHz | 1 MHz |
| Revo-532-3TA | 532nm绿光 | 3W | 3 μJ @1MHz | 1 MHz |
| Revo-257-1TA | 257nm深紫外 | 1W | 1 μJ @1MHz | 1 MHz |
产品特点
- 深紫外冷加工：257nm 高光子能量，热影响区（HAZ）几乎为零
- 三波长集成：IR/GR/DUV 柔性切换，覆盖从改性到精修全场景
- 极致精度：聚焦光斑更小，支持亚微米级精细修复
- 工业级稳定：24/7 产线级设计，功率稳定性 <1% RMS
- 超快脉冲：<290fs 脉宽，确保加工边缘无崩边、无飞溅
- 基于成熟红外飞秒种子源及高效四倍频技术
应用场景
- 半导体掩模版修复
- SiC/GaN 表面改性
- OLED/MicroLED修复
- 失效分析检测
- 深紫外光谱分析
- 材料缺陷检测
Revo257系列常见问题
Q1: 257nm深紫外和普通紫外有什么区别？
A: 257nm属于深紫外（DUV）波段，比355nm紫外波长更短，光子能量更高，加工精度更高，热影响区更小，特别适合半导体掩模版精修等纳米级加工。
Q2: 三波长是同时输出还是切换？
A: 采用柔性切换方式，可根据工艺需求在红外、绿光和深紫外之间切换，覆盖从改性到精修全场景。
Q3: 深紫外激光器的使用寿命如何？
A: 采用工业级24/7产线级设计，功率稳定性<1% RMS，配合华日完善的售后服务体系，确保长期稳定运行。
免责声明：本页产品参数仅供参考，实际产品规格以华日激光官方确认及供货合同为准。产品外观及规格如有变更，恕不另行通知。
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