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SCANLAB excelliSCAN 14 数字扫描振镜
excelliSCAN 14 是德国 SCANLAB 公司推出的一款旗舰级 14mm 口径数字扫描振镜系统，搭载独家的 SCANahead 前馈控制技术和 dynAXISse 数字编码器振镜电机，代表了激光扫描领域的最高性能标准。该系统实现了零跟踪误差（tracking error = 0），在高速加工时仍能保持极佳的轨迹精度，从根本上消除了传统振镜在圆弧加工中的”缩颈”效应。
excelliSCAN 14 仅需一种通用调谐（universal tuning）即可覆盖几乎所有应用场景，大幅简化了系统集成和工艺调试。配合 RTC6 PCIe 控制卡使用，可充分发挥 SCANahead 技术的全部潜力，实现前所未有的加工效率与精度。
核心特点
- SCANahead 前馈控制：零跟踪误差，高速加工时轨迹精度无损失，无需手动设置延迟参数，消除了圆弧缩颈效应
- dynAXISse 数字编码器：20 位定位分辨率（0.7 µrad），极低位置噪声，最高线性度和长期稳定性
- 超高动态性能：定位速度可达 30 m/s，加速度高达 51,200 m/s²，1mm 跳转仅需 0.28ms
- 优异精度指标：重复精度 <0.4 µrad（RMS），非线性 <0.5 mrad/44°，温度漂移 Offset <10 µrad/K
- 通用调谐：仅一种调谐即可满足所有应用，无需切换调谐模式，简化操作流程
- 灵活冷却方案：支持水冷和压缩空气冷却，适应不同应用场景需求
- iDRIVE 智能诊断：实时获取振镜关键运行参数，支持全面的状态监控
- 3D 扩展能力：可搭配 varioSCAN II 或 excelliSHIFT 实现三维加工应用
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 口径 | 14 mm |
| 角度传感器 | 数字编码器 (dynAXISse) |
| 典型扫描角度 | ±0.35 rad（光学） |
| 最大激光功率 | 500 W @ 1064 nm（100% 占空比，风冷） |
| 像场尺寸 | 95 × 95 mm（1064nm, f=160mm） |
| 典型光斑尺寸 | 23 µm（1064nm, f=160mm, M²=1.0） |
| 跟踪误差 | 0 ms |
| 定位速度 | <30 m/s（f=160mm） |
| 标记速度 | <4 m/s（f=160mm） |
| 写速度-高质量 | 850 cps |
| 写速度-良好质量 | 1000 cps |
| 加速度 | 51,200 m/s²（角加速度 3.2×10⁵ rad/s²） |
| 1mm 跳转时间 | 0.28 ms |
| 10mm 跳转时间 | 0.88 ms |
| 100mm 跳转时间 | 3.70 ms |
| 重复精度（RMS） | <0.4 µrad |
| 定位分辨率 | 20 bit（0.7 µrad） |
| 非线性 | <0.5 mrad / 44° |
| 温度漂移-Offset | <10 µrad/K |
| 温度漂移-Gain | <5 ppm/K |
| 8小时漂移-Offset | <20 µrad |
| 24小时漂移-Offset | <20 µrad |
| 增益误差 | <5 mrad |
| 零位偏差 | <5 mrad |
| 控制接口 | 数字 SL2-100 |
| 供电 | 30 V DC, 最大 3 A |
| 工作温度 | 25°C ± 10°C |
| 重量（不含物镜） | 约 7 kg |
| 外形尺寸 | 189.1 × 118 × 158.5 mm³ |
| 光束偏移 | 16.42 mm |
| 冷却方式 | 水冷 + 压缩空气冷却 |
应用场景
- 光伏制造：太阳能电池片精密划片、刻槽、边缘绝缘
- 激光微加工：精密打孔、微结构制造、薄膜刻蚀
- 显示面板生产：OLED/液晶面板修复、薄膜切割
- 深雕加工：金属深度雕刻、3D 浮雕加工
- 精密钻孔：PCB 微孔、喷墨喷嘴等高精度钻孔
- 医疗器械：支架精密加工、微器件制造
- 增材制造：选择性激光熔化（SLM）高速扫描
选型指南
excelliSCAN 14 适用于 14mm 以内光束直径的高动态精密加工场景。当加工需求侧重极致速度与精度时首选此型号；若需要更大口径（20mm/30mm），可考虑 excelliSCAN 20/30。搭配 RTC6 控制卡可实现 SCANahead 全部功能；如需 3D 加工，可扩展 varioSCAN II 或 excelliSHIFT。标准涂层覆盖 YAG/光纤激光、绿光、紫外、深紫外及 CO₂ 激光等多种波长。
📞 咨询热线：159-2722-0467 | 🌐 网址：www.soar-laser.cn
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