描述
产品概述
TOPTICA TopWave 405 系列是面向光刻与全息应用、替代笨重高耗氪离子(Kr⁺)气体激光器的现代全半导体解决方案:在 405 nm 提供最高 2 W 连续单频输出,相干长度远超 100 m,M²=1.15(典型),按键即开。全半导体设计功耗低于 200 W 且无需水冷,运行成本低、环境友好。
主要技术参数
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 波长 | 405 ± 0.5 nm |
| 线宽 | < 1 MHz |
| 相干长度 | > 100 m |
| 输出功率 | 1000 mW(TopWave 405)/ 2000 mW(TopWave 405 XP) |
| 光束腰直径 | 1.5 ± 0.2 mm |
| 光束腰位置 | 前面板 ± 25% 瑞利范围 |
| 横模 | TEM₀₀ |
| M² | 1.15 / 1.3(典型 / 最大) |
| 光束发散角(全角) | < 0.6 mrad |
| 光束椭圆度 | 0.9 – 1.1 |
| 像散 | ± 0.25 zR |
| 指向稳定性 | ≤ 5 µrad |
| 偏振 | 线性,垂直,±3°,> 100:1 |
| 功率稳定性(8h RMS) | < 1% |
| RMS 噪声(10 Hz – 10 MHz) | ≤ 0.6 % |
| 预热时间 | 冷启动 < 2h / 待机唤醒 < 15 min |
| 寿命(最小 / 典型) | 5000 h / 10000 h |
| 激光头尺寸 | 500×295×127 mm³(405)/ 525×295×127 mm³(XP) |
| 激光头重量 | 21.9 kg / 22.6 kg |
| 激光头冷却 | 传导(需提供足够散热片) |
| 控制箱尺寸 | 448×378×154 mm³ |
| 控制箱重量 | 10.5 kg / 11.7 kg |
| 控制箱冷却 | 对流风冷 |
| 输入电压 | 100 – 240 V AC, 50/60 Hz |
| 功耗 | < 100 W(典型 75)/ < 200 W(典型 150) |
| 通信接口 | Ethernet, USB |
产品特点与技术对比
405 nm 独特高功率
全半导体激光器在 405 nm 提供最高 2 W 光学功率。
高相干性
单频运转、相干长度 >100 m,适合干涉图样生成。
可靠耐用
工业级设计,支持 405 nm 下 7×24 连续稳定运行。
低拥有成本
比同类气体激光电光效率更高,无需水冷。
氪离子激光替代
参数对标气体激光,系统集成更轻松。
紧凑即插即用
紧凑型交钥匙系统,安装工作量小。
典型应用
- 全息与增强现实(Holography & AR)
- 干涉光刻(Interference lithography)
- 激光掩模直写(Laser based mask writing)
- 直写光刻(Direct writing lithography)
- 微纳加工(Lithography & microfabrication)
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常见问题(FAQ)
TopWave 405 的输出功率与波长?
在 405 ± 0.5 nm 提供 1000 mW(TopWave 405)或 2000 mW(TopWave 405 XP)连续单频输出。
TopWave 405 与氪离子气体激光比如何?
TopWave 405 以全半导体方案对标 Kr⁺ 气体激光参数,无水冷、功耗低于 200 W、体积紧凑,更易集成且运行成本更低。
TopWave 405 的相干与光束质量?
线宽 < 1 MHz、相干长度 > 100 m、TEM₀₀ 横模、M² 典型 1.15,适合干涉光刻与大面积纳米结构加工。
TopWave 405 适合哪些应用?
适合全息、干涉光刻、激光掩模直写与微纳加工等对相干性与功率均有要求的应用。
免责声明
本文所列参数为 TOPTICA 官方规格书中的典型值,实际指标以原厂最新规格书及合同为准。TOPTICA 为原厂品牌,高飞激光(soar-laser.cn)提供该系列产品的销售与技术支持。产品图片与技术资料均来自 TOPTICA 官方,版权归原厂所有。选型与订购前,请与我们的技术团队确认您所需的具体波长、功率与接口要求。








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