光学薄膜是指在抛光的光学元件表面上镀制的一层或多层薄膜,用来改变光波的传输特性。按照应用需求不同,光学薄膜的常见功能包括反射(HR)、减反(AR)、分光(BS)、衰减(AT)、滤光(FI)、偏振控制(PBS)、相位改变(PC)七大类,此外还有疏水、导电(ITO)等非光学特性的功能。本文逐一介绍这些功能的原理、典型指标与常用材料,帮助大家对这一领域有更全面的了解。
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一、光学薄膜是什么?
早期,由玻璃材料做成的光学元件,在使用过程中会遇到空气中的水汽、酸、碱等物质的侵蚀,使得表面性能下降,影响了光学产品的寿命。因此,为了解决这一问题,产生了光学镀膜技术——通过在镜片表面上镀一层薄膜,将抛光表面与空气隔离,从而起到保护光学面的作用。
在后续的使用过程中人们发现,薄膜不仅可以保护光学面,还可以改变光束的光学特性,例如让表面的透过率或者反射率产生改变。因此,人们对镀膜技术有了更多的研究。当代的光学镀膜,是指在抛光的光学零件表面上镀上一层或多层薄膜的工艺过程,目的是改变光波的传输特性,包括光的透射、反射、吸收、散射、偏振及相位改变等,或者通过光学薄膜实现其他特定目的。
二、光学薄膜的常见功能
光学薄膜的常见功能有哪些?在光学图纸中定义镀膜要求的时候,通常需要明确三件事:一是适用的光谱范围,比如是紫外波段的镀膜需求,还是可见光或红外波段的需求;二是膜层入射角度的大小,以满足该光学元件在光学系统中的具体使用需求;三是镀膜后的数值指标,比如反射率需要低于0.5%,还是反射率要高于96%。根据应用场景不同,光学薄膜的常见功能可以归纳为七大类(另有一类非光学特性功能),速览如下:
| 功能 | 缩写 | 作用简述 | 典型指标与应用 |
|---|---|---|---|
| 反射 | HR(High Reflection) | 提高光学表面的反射率,可作反射镜使用 | 金属膜最高约97%,介质膜可达99.99%;用于反射镜、谐振腔镜等 |
| 减反 | AR(Anti-Reflection) | 降低表面反射率,提高光束透过率 | 可见光波段多层膜反射率可低于0.5%;用于镜片、窗口片、显示器件等 |
| 分光 | BS(Beam Splitting) | 把入射光束按比例分成透射光和反射光两束 | 常用1:1、1:2等比例;用于干涉仪、激光系统等 |
| 衰减 | AT(Attenuating) | 以吸收方式减弱透过的光束强度 | 恒定衰减片、渐变衰减片;用于太阳镜、光学仪器等 |
| 滤光 | FI(Filtering) | 只让特定谱段的光通过,滤除其他谱段 | 带通、短波通、长波通滤光片;用于光谱仪、摄影等 |
| 偏振控制 | PBS(Polarizing Beam Splitter) | 控制光束偏振态,分离P光和S光 | 偏振片、偏振分光棱镜;用于3D电影眼镜、LCD显示、激光系统等 |
| 相位改变 | PC(Phase Change) | 调控不同偏振态光的相位 | 相位匹配、相位延迟;用于超快光学、干涉测量等 |
| 非光学功能 | — | 疏水、导电等表面功能 | 疏水膜、ITO导电膜;用于防水镜片、触摸屏、太阳能电池等 |
A、反射(HR Coating)
具备这一功能的薄膜称为反射膜,也常被称为高反射膜(HR膜),用于增加光学表面的反射率,光学表面镀了反射膜后,就可以作为反射镜来使用了。
不同的反射率指标下,对应的镀膜膜系也不同。常见的反射膜大致有两类膜系:一类是金属膜,如铝膜、银膜、金膜等,金属膜的厚度通常比较薄,对表面面形有很好的保持,反射率最高可以达到97%的水平;另一类是介质膜(电介质膜),利用不同电介质材料的相互叠加形成多层膜,例如用氟化镁(MgF2)和五氧化二钽(Ta2O5)配合形成的介质反射膜,可以达到99.99%的反射率水平。不过介质膜的厚度通常偏厚,因此不容易保持高精度的面形。作为一个例子,下图给出了在可见光波段,BK7材料表面镀金膜、银膜、铝膜和介质膜的反射率曲线:

上图中,光束为0°入射。红色线代表金膜,绿色线代表银膜,蓝色线代表铝膜,黑色线代表介质膜;其中介质膜由10层MgF2和11层Ta2O5构成,MgF2的总厚度为66nm,Ta2O5的总厚度为99nm,该介质膜的反射率是各膜系中最高的。
B、减反(AR Coating)
具备这一功能的薄膜称为增透膜或者减反膜,作用是在一定光谱范围内降低光学表面的反射率,从而增加光束在元件上的透过率。减反膜通常由一层或多层不同的电介质材料叠加而成,这里同样可以用氟化镁和五氧化二钽。下图中,给出了在可见光波段,BK7材料在不镀膜、镀单层介质膜和多层介质膜时的表面反射率曲线:

上图中,光束为0°入射。红色线代表不镀膜的BK7抛光表面,反射率约为4.2%;绿线为在基底上镀了单层MgF2膜的反射率曲线,膜层厚度约99nm,可以看到反射率有了明显的降低;蓝线为在基底上镀了3层MgF2和3层Ta2O5的多层介质膜,此时的表面反射率已经在0.5%以下了。
镀膜材料不仅限于MgF2和Ta2O5。实际中可以选用的镀膜材料很多,主要是氟化物、氧化物以及其他类化合物:常用的氟化物还包括氟化镧(LaF3)、氟化钇(YF3)、氟化镱(YbF3)等,常用的氧化物还包括二氧化硅(SiO2)、二氧化钛(TiO2)、二氧化锆(ZrO2)、二氧化铪(HfO2)等,此外还有硫化锌(ZnS)、硒化锌(ZnSe)等化合物。
C、分光(Beam Splitting)
通过镀膜,可以将入射到镀膜面上的光束分成两束:一束光透射穿过,另一束光被反射,并且两束光的光强比例可以在膜系设计时定义。常见的有1:1的分光膜,即透射光强和反射光强各占一半;另外,实际应用中也有1:2比例或其他各种比例的分光膜。
D、衰减(Attenuating)
通过对平片产品镀膜,可以使透过它的光束强度变弱,而损失的光并没有被反射回去,而是被膜层吸收掉了,从而实现光束衰减的功能。人们平时佩戴的太阳镜,就可以实现对紫外线的吸收和光强的衰减,起到保护眼睛的作用。在光学仪器中,有恒定衰减率的衰减片,即产品的各个位置可以对入射光束实现同等程度的衰减;也有渐变衰减率的衰减片——当渐变衰减片绕中心旋转一周时,光强的透过率可以由强到弱连续变化。
E、滤光(Filtering)
用于滤光功能的元件通常称为滤光片,它可以使特定谱段的光透过,将不感兴趣谱段的光束滤除掉。滤光片在光学仪器中应用非常广泛,按照光谱特性分类,可以分为带通滤光片、短波通滤光片、长波通滤光片等多种类型。在摄影行业,滤光片常被用来作为颜色的筛选器,从而获得有特定艺术效果的照片。
F、偏振控制(Polarizing Control)
我们知道,线偏振光分为P光和S光,两者振动方向相互垂直,传播也相互独立。通过镀膜,可以对入射光束的偏振态进行控制,常见的应用如偏振片,它可以将自然光变成偏振光,从而广泛应用在3D电影眼镜、LCD显示的场合。光学仪器中常用的偏振分光棱镜(PBS),就是通过在胶合直角棱镜的斜面上镀制偏振膜,将入射光束分成互成90°的P光(透射)和S光(反射),起到起偏的作用。PBS的原理图如下所示:

G、相位改变(Phase Change)
前面提到过,光学薄膜通常是一层或多层介质的叠加。当光束在不同介质的界面之间被反射或折射时,不同偏振态的光的相位会发生变化。因此,根据这一特性,可以利用光学薄膜实现对入射光中P光和S光的相位调控,常见的有相位匹配、相位延迟等应用。
H、非光学特性的功能
还有一类光学薄膜,它们并不具备光学功能,但是在实际中同样需要。例如,当光学表面需要防水时,就需要镀疏水膜,该膜层可以使水滴在镜片上不易附着,就像荷叶上的水滴一样被高效地排走。还有一些场合,需要光学表面具备导电的功能,这时就需要镀ITO(Indium Tin Oxide,氧化铟锡)膜,这种膜在可见光波段具备良好的透过率,同时具备优异的导电性,从而为平板显示器、触摸屏、太阳能电池等电子产品提供透明的导电功能。
三、常见误区
关于光学薄膜,有几个容易混淆的认识,选购和使用时值得注意:
误区1:反射率越高越好。
实际上,镀膜指标要与用途匹配:反射镜追求高反射率,镜片和窗口则要尽量降低反射率(增透);而且反射率越高,往往意味着带宽更窄、对入射角更敏感、成本更高,并非所有场景都适合。
误区2:忽略入射角度与光谱范围。
膜层的反射率、透过率指标通常是针对特定入射角(如0°正入射或45°斜入射)和特定光谱范围设计的,实际使用中偏离设计条件时,指标会明显偏移。
误区3:金属膜已经过时,任何场合都应选介质膜。
实际上,金属膜带宽宽、对角度不敏感、成本低,在宽波段反射、低成本场景中仍然是主流选择;介质膜虽然反射率更高(可达99.99%)、吸收更低,但带宽较窄、对角度敏感、成本较高。两者各有适用场景。
误区4:镀膜元件可以随意擦拭清洁。
与裸玻璃相比,膜层更娇贵:高功率激光、潮湿或酸碱环境会加速膜层老化损伤;清洁时应避免干擦、硬擦,按规范使用专用工具和溶剂。
四、常见问题(FAQ)
光学薄膜的常见功能有哪些?
主要有七大类:反射(HR,高反膜)、减反(AR,增透膜/减反膜)、分光(BS,分光膜/分束膜)、衰减(AT,衰减片)、滤光(FI,滤光片)、偏振控制(PBS,偏振片与偏振分光棱镜)和相位改变(PC)。此外,还有疏水膜、ITO透明导电膜等非光学特性的功能。
HR膜和AR膜有什么区别?
两者作用方向相反。HR(High Reflection)是高反射膜,用于把光学表面的反射率尽可能提高:金属膜可达97%左右,介质膜可达99.99%,典型应用是反射镜和激光谐振腔镜;AR(Anti-Reflection)是减反膜(也称增透膜),用于把表面反射率尽可能降低:可见光波段多层减反膜可低于0.5%,从而提高透过率,典型应用是镜片、窗口片和显示器件。
金属膜和介质膜各有什么特点,怎么选?
金属膜(铝、银、金等)反射带宽、对入射角不敏感、工艺成熟、成本低,反射率一般最高约97%,但存在吸收损耗,适合宽波段反射和成本敏感的场景;介质膜由多层高低折射率材料叠加而成,反射率可以做到99.99%,吸收极低,但膜层较厚、带宽较窄、对角度敏感、成本较高,适合激光系统等对反射率和损耗要求高的场景。
PBS是什么,有什么用途?
PBS是偏振分光棱镜(Polarizing Beam Splitter):在胶合直角棱镜的斜面上镀制偏振分光膜,把入射光分为振动方向互相垂直、互成90°出射的P光(透射)和S光(反射)。PBS广泛用于激光系统、光隔离器、光学测量和显示设备中,用于起偏、检偏和偏振分光。
光学镀膜常用材料有哪些?
常用的镀膜材料包括:低折射率材料有氟化镁(MgF2)、氟化镧(LaF3)、氟化钇(YF3)、氟化镱(YbF3)、二氧化硅(SiO2)等;高折射率材料有五氧化二钽(Ta2O5)、二氧化钛(TiO2)、二氧化锆(ZrO2)、二氧化铪(HfO2)等。此外还有硫化锌(ZnS)、硒化锌(ZnSe)等化合物,以及铝、银、金等金属膜料。具体组合需根据光谱范围、指标要求和损伤阈值来选配。
五、结语
在本文中,我们对光学薄膜的常见功能做了详细的介绍。按照膜系的不同,光学薄膜通常具备高反、增透、分光、衰减、滤光、偏振控制、改变光束相位等功能;除此之外,还有疏水膜、ITO膜等非光学特性的功能,这些功能在实际中也会经常用到。如果你对其中某一类功能想进一步了解,欢迎继续浏览激光百科全书栏目中的光学镀膜系列文章,或直接联系我们交流。



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